鉴别精密光学平台质量优劣的步骤

1、 外观：

精密光学平台外观应美观，各部位都应无影响安全的锐角及锐边，更重要的是检查孔口倒角是否均匀一致（螺孔旋入后应垂直平台面），四边及其倒角是否平直一致。如果台面未经过机械加工而是人工打磨出来的孔口倒角是大小不一致的，沿台面四周边用目测即可看出台面倒角处是弯曲的。

2、 固有频率（≤2Hz）

固有频率也称自然频率、自振频率，只有在环境扰动力频率（f）与精密光学平台的固有频率(fo)的比值f/fo＞√2时系统才有隔振作用。所以精密光学平台的固有频率越低，隔振效果效果就越好。该指标的检测一般采用振动频谱分析仪及便携式振动分析仪来进行多点测量，如供应商不具备仪器测量，您也可用以下方法：用手用力压下（或侧推）平台，然后迅速松开，让其大幅度上下振动（或左右、前后摆动）起来，如一秒钟内往复一次即为1Hz，二次即为2Hz，依此类推。须可粗略测得精密光学平台的固有频率。

3、 平面度（≤0.05㎜/㎡）

该指标越小即表明台面越平整，调整光路就越容易。一般出厂要求平面度小于0.05㎜/㎡，检测方法一般有：光电自准直仪法、光学平面度检查仪检测法、水平仪检测法、激光平面度检测仪等等。对安装在实验室的精密光学平台平面度一般采用光电直准仪和光学平直度检查仪检测，经计算后得出。这些仪器也是生产厂商应必须配置的。

4、 表面密迪纹理及粗糙度（Ra≤0.8μm）

该指标的意义在于保证精密光学平台有一个光滑但无反射的工作表面。良好的表面粗糙度有利对实验仪器的保护，产品出厂要求一般在Ra≤0.8μm以下，粗糙度完成可采用对比样板目测和粗糙度仪检测，如果是现场检测可采用粗糙度仪完成。该仪器具有便携、可直读数据、精度高等优点。

5、 重复定位精度（±0.10㎜）

该指标意义在于保证工作台面在动态条件下的水平，以方便使用者高速光路，检测方法是将百分表（精度0.02㎜）固定在稳固的物体上，表头顶住台面，然后在工作台面上反复加载或卸载，待稳定后读数在范围正负0.10㎜以内即为合格。

6、 工作台面的振幅（So≤2μm）

在正常的使用环境下，为了保证仪器的使用精度，精密光学平台必须提供尽可能低的振幅。同时也可通过台面和地面振幅指标的对比，反映系统的隔振性能。如平台振幅小于地面振幅，则平台是隔振的，反之则是不隔振或振动放大的。振幅指标的检测，类同固有频率检测。

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